淺層氣浮設(shè)備選購(gòu)技巧

　　氣浮墊(平面空氣靜壓軸承、止推空氣軸承)廣泛應(yīng)用于高精度設(shè)備中，比如集成電路生產(chǎn)設(shè)備、平面顯示器生產(chǎn)設(shè)備、半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、電子生產(chǎn)設(shè)備、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備、新型元器件生產(chǎn)設(shè)備、檢驗(yàn)和測(cè)量設(shè)備以及高精度機(jī)床等。氣浮墊是靜壓氣浮導(dǎo)軌的重要組成部件，在工作過(guò)程中起承載和導(dǎo)向之作用，它決定了氣浮設(shè)備的精度和性能，因此在設(shè)計(jì)時(shí)氣浮墊的選擇是十分關(guān)鍵的。

　　1)承載能力。

　　足夠的承載能力可確保氣浮墊將系統(tǒng)“浮”起來(lái)，這是基本的要求。選擇時(shí)應(yīng)注意比較不同廠商氣浮墊在同樣條件下(氣隙、供氣壓力)的承載能力;

　　2)剛度(static stiffness 和 tilt stiffness)。

　　足夠的剛度是保證氣浮系統(tǒng)在設(shè)計(jì)條件下穩(wěn)定工作的必要條件。選擇時(shí)一般考慮靜剛度(static stiffness )，但有些情況下也必須考慮傾側(cè)剛度(tilt stiffness)，否則系統(tǒng)可能無(wú)法達(dá)到設(shè)計(jì)性能指標(biāo)要求。

　　性能穩(wěn)定性。

　　有些氣浮墊在使用的過(guò)程中性能指標(biāo)會(huì)發(fā)生較大的變化，即便是使用條件(溫度、角度、氣隙等)發(fā)生了很小的變化;

　　氣浮設(shè)備選購(gòu)技巧 氣浮的原理懸浮物表面有親水和憎水之分。 憎水性顆粒表面容易附著氣泡， 因而可用氣浮法。親水性顆粒用適當(dāng)?shù)幕瘜W(xué)藥品處理后可以轉(zhuǎn)為憎水性。

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